程控勻膠機(jī)具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、旋轉(zhuǎn)加速度可控、勻膠過程多段程序控制等特點(diǎn)。主要用于微電子、半導(dǎo)體、太陽能電池、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的表面涂膜工藝，例如各類納米薄膜材料、光阻涂層、生物功能涂層的制備。
程控勻膠機(jī)的性能：
1.轉(zhuǎn)速可控范圍：100-12000RPM，轉(zhuǎn)速分辨率：1RPM
2.大單步步長3000S，旋轉(zhuǎn)時(shí)間分辨率0.1S
3.加速度可控范圍：100-30000RPM/S
4.可處理碎片(小于1cm)至6英寸(150mm)圓晶底物
5.4.3寸全彩觸摸屏，提供觸屏筆操作，中英文界面可選
6.可進(jìn)行多步程序運(yùn)行，多可存貯10組10步程序
7.HDPE高分子耐腐蝕、易清潔內(nèi)腔，帶排廢功能
8.SUS耐腐蝕不銹鋼機(jī)身，耐溶劑性PC透明蓋子
9.帶一只自動(dòng)點(diǎn)膠端口，可升級自動(dòng)點(diǎn)膠功能
10.100W直流無刷電機(jī)，寬電壓適用：AC100-230V輸入
11.帶真空和蓋子開關(guān)互鎖功能，確保操作安全
12.標(biāo)配三種規(guī)格鋁合金真空載物盤（直徑10mm、25mm、55mm）
13.防堵膠功能設(shè)計(jì)，真空通道進(jìn)膠安全保護(hù)功能
14.外形尺寸：256(W)*358(D)*258(H)
程控勻膠機(jī)是高精密的旋轉(zhuǎn)涂膜儀。主要為高等院校、科研院所、研發(fā)中心等進(jìn)行研究，開發(fā)各種功能薄膜所用。適用于半導(dǎo)體硅片、晶片、ITO導(dǎo)電玻璃、光學(xué)玻璃、生物薄膜、制版等工藝表面涂覆。
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