鈣鈦礦真空成膜機(jī)是一款輔助成膜結(jié)晶設(shè)備。本設(shè)備主要為濕膜法制備鈣鈦礦薄膜工藝所設(shè)計(jì)，設(shè)備可以快速創(chuàng)造較低的真空條件，從而使液體溶劑沸點(diǎn)降低，加快溶劑揮發(fā)，有利于鈣鈦礦薄膜的形成。經(jīng)過快速真空處理后的薄膜，形成的結(jié)晶致密均勻。該設(shè)備是實(shí)驗(yàn)室及科研單位用于制備鈣鈦礦薄膜太陽能電池的關(guān)鍵核心設(shè)備。

真空抽速快

  5秒10Pa的抽速對(duì)于大面積快速成核預(yù)結(jié)晶，至關(guān)重要。合理的設(shè)計(jì)和優(yōu)質(zhì)的真空泵配合擁有高度穩(wěn)定的真空系統(tǒng)，并采用專項(xiàng)優(yōu)化的對(duì)稱氣路設(shè)計(jì)，為鈣鈦礦薄膜的形成提供了純凈空間，在滿足真空速度的同時(shí)也達(dá)到極限真空要求，避免了外界雜質(zhì)和各種因素的干擾，使得鈣鈦礦薄膜的工藝更穩(wěn)定，性能更優(yōu)。

◆極限真空度高

  極限真空度可適用更多的溶劑體系，有利于厚膜在700-800nm中殘留的溶劑的脫附。

◆界面易操作

  采用經(jīng)過長期優(yōu)化改進(jìn)的控制系統(tǒng)，操作界面簡(jiǎn)潔直觀，即使是初次使用也能在短時(shí)間內(nèi)熟悉操作流程。

◆使用壽命長

  設(shè)計(jì)時(shí)就充分考慮了維護(hù)的便利性，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)合理，易于清潔和更換零部件，這不僅降低了用戶的維護(hù)成本，還提高了設(shè)備的使用壽命。